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(1)应用 涡轮分子泵一切正常工作中必须低于1Pa的前面压力。一般的真空泵可做为该泵的前面泵 高频电机的起动由中频感应炉内的电子系统操纵。在十多分钟内使泵升到额定值转速比。高频电动机 工作中时一般以散热风扇或试压开展制冷 当泵进到一切正常转速比后,为做到極限压力,解决被抽器皿及泵体开展烤制除气,泵体的除 气温度为100~120℃,除气后可获得约10-8的極限压力 必须留意的是:①涡轮分子泵对相对性分子质量大的汽体发动机压缩比大,故極限压力关键取 决于相对性分子质量小的汽体成份。如H2、He等。除此之外,器皿及泵体释放的水蒸气也是危害 極限压力的关键要素。 ②涡轮分子泵低真空泵位置的轴承润滑油也是一个关键污染物,因而该泵是一个准无 油的机械泵。在泵终止运行时,应立即灌进干躁N2,能够遏制润滑脂蒸汽的外扩散。若 想要毫无油的涡轮分子泵,务必对滚动轴承开展改善,怎样应用汽体滚动轴承,磁悬浮轴承的 分子泵。 因为该泵具备高速运转的构件,促使它不可以在电磁场下应用。由于这会造成涡旋造成 、叶子形变等实际效果。一般容许的杂散磁通密度为0.004~0.011T。 ④涡轮分子泵尽管具备起动快、停泵快的优势。但该泵的缺陷对H2、He等轻品质气 体的发动机压缩比小。也因为泵旋转构件与静止不动构件间空隙不大,务必留意避免 各种各样碎渣飞进泵
内,导致损害的安全事故 (2)自然环境标准规定 涡轮分子泵应在下述自然环境标准下工作中 ①自然环境温度为4~40℃; ②气体空气湿度低于85%; ③冷却循环水渗水温度不高过25℃ (3)泵的应用标准 ①泵应防止抽除带烟尘、腐蚀或可燃性汽体。泵在一切正常运行时,不允许立即导入大 气,不允许有明显轴向震动 ②为了更好地除气目地,对泵体检测罩和真空泵精确测量规管开展烤制。其烤制温度:泵体及泵体 上的法兰盘为120℃,检测罩或真空泵器皿为300℃;真空泵检测规管为400℃。 ③强烈推荐的前面泵应合乎表422规定
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