【低温泵保养】低温泵维修之极限压力调试情况说明

                        
 低温冷疑的基础理论極限压力  低温冷覆的極限压力关键在于低温板温度下气体的饱和蒸气压。不考虑到被抽  器皿的放空气和漏汽，低温冷疑抽真空的基础理论極限压力。为

p√7
式中P—低温泵的基础理论極限压力  低温板温度T。下的气体饱和蒸气压，Pa;
T—出射到低温板的气体温度，K;
7—低温板温度，K
当5k=300K,7,=20K,带入式(230)得
(2-31)  在没抽气体成份是危害泵的基础理论極限压力关键主要参数，危害较大 的气体是氢和氦，  2K液态氮温度下，氮和氢的饱和蒸气压各自为105Pa和7×105Pa,氖在该温  度下的饱和蒸气压是10-16Pa,能用液态氮温度的低温板彻底消除氖。用真空泵将容  器中的空气抽至10Pa时，器皿中剩下的氢、氖、氦分压电路约为2.35×10-4Pa。假如  用碳分子筛吸附泵预真空包装时，状况更加不好，可能这种无法冷疑的气体分压电路达到  10-Pa
表2-19和表220各自得出了气体(氦、氢、氖)的饱和蒸气压和低温板不在  同温度下抽除300K气体，按公式计算(231)测算的基础理论極限压力。  2.4.3.2低温吸附的基础理论極限压力  一切超滤装置都难以避免地存有泄露和原材料排气，仅用10~20K的低温板抽  气时，泵的極限压力将随抽真空時间慢慢上升，缘故是空气中带有2.35×105的难
以抽除的气体(氖1.8×10-5;氦5×10-6;氢5×10-7),而氢也是原材料排气的  关键气体成份，因此 ，当代低温泵的低温板上面涂有活性碳、碳分子筛等呼吸剂材  料，运用低温吸附来抽除无法抽除的氢、氖、氦气体。
得出的公式计算(2-30)仍适用沾有活性碳、碳分子筛的低温泵，测算低温冷疑理  论極限压力，必须将公式计算中的p用低温板温度下吸附剂吸附气体量v后的均衡气  体压力p替代。图243得出了活性碳和5A[图2-43(a)]、13X[图2-43(b)]分  子筛对N2、H、He、Ne的吸附等温线。通常条件下，应用活性碳，比碳分子筛具  有更强的吸附工作能力
般吸附剂吸附气体的均衡压力力比该温度下冷疑气体的饱和蒸气压p。低数  个量级，低温泵的基础理论極限压力受制于气体的饱和蒸气压。设计方案低温泵可用较少  工作中压力的1/10~1/100做为泵的極限压力设计方案限制，从而能够明确低温板的温  度、吸附剂吸附量的较高值Vmax和泵工作中使用寿命tmax(2次再造中间的時间)。
2.4.3.3低温泵评测極限压力  检测低温泵的極限压力时，真空泵维修一般选用与扩散泵同样的检测罩，这时候精确测量到的极  限压力是气体的饱和蒸气压和满载时器皿内总的气体负载与泵的泵效之比，即

h=b⊥Q

(2-32)  式中p—低温泵的评测極限压力，Pa;  低温泵的基础理论極限压力，Pa;  Q满载真空泵器皿总的气体负载(漏汽随和壁原材料排气),Pa·L/s;  S—低温泵的合理泵效，L/  因为低温泵冷疑的基础理论極限压力远小于吸附的極限压力，没有吸附原材料的低温  泵运用公式计算(232)中的p是低温冷疑基础理论極限压力；含有吸附原材料的低温泵，  式(2-32)中的力为泵的低温吸附基础理论極限压力。  真空泵器皿满载标准下器壁原材料排气是泵的关键气体负荷(忽视漏汽危害),  些常见原材料的排气速度见表2-21